产品特色:
小
体积小;由柔轮、刚轮、波产生器组成,结构简单且安装方便。
巧
高速比;单段减速即可达到1/50~1/120的高减速比,并保有相同外形尺寸。
精
精度佳;利用金属的弹性变形带动齿轮传动的,其定位精度可达成极高之要求。
准
背隙小;有别于传统齿轮啮合方式,藉由弹性变形达到高啮合率并消除背隙。
应用
面板制造、晶圆搬运、晶圆切割、自动化设备 …等。